| 产品特性：离子清洗机 | 是否进口：否 | 产地：广东 |
| 品牌：Pluto-30 | 型号：Pluto-30 | 类型：等离子清洗机 |
| 加工定制：是 | 功率：500w | 用途：产品表面处理 |
| 电流：12 | 电压：220 | 电源：16A |
| 规格：706W x 920D x 1415H mm（宽×深×高） |
Pluto-30TM技术规格
1. 电源系统：RF射频电源：频率13.56MHz；功率≥500W连续可调；动态范围：1~500W;控制精度：1~100W ±2W ;>100W ±2% ;，输出稳定性：-20分贝。全自动匹配阻抗电源，可自动调整阻抗反射
2. 真空腔体：经检漏测试的316不锈钢腔体，内部尺寸300W x 280H x 366Dmm
3.电极尺寸（有效处理面积）：接地电极尺寸：226W x 210D mm;功率电极尺寸：226W x 210D mm
4. 电极数量：7层，工作面最多可达6层（标配一对电极）
插杆式，6061-T6铝合金，电极间距：48mm（可根据需求更改电极数量和间距）
5. 在腔体范围内，根据电极间隙自由设置工作距离，以适应不同规格样品。
6.针对不同材料属性，可自由设置电极属性，已达到***工艺配置
7.气体控制：标配1路气体，1个MFC（质量流量控制阀），20-200sccm 最多可升级至4路气体，4个MFC控制器 （氩气、氧气、氮气、氢气、四氟化碳可选）
8.***xtance气体多层均分方案，可将等离子体均匀分配至样品表面
9. 设备控制系统：7寸工业控制电容触摸屏，PLC+控制技术，设置各项参数，实时显示设备运行状态，界面友好，操作方便
10.真空变频控压，可实现控制真空腔内恒定压力。
11.真空度过低报警，气源压力不足报警，错误气体报警，等一系列报警措施
12. 真空系统：油泵:TRP-24抽气速率 （50Hz） L/S 6（可选干泵）
13.真空计：皮拉尼真空计
14.真空管路：全不锈钢管路，以及高强度真空波纹管
15. PLUTO-30软件参数
1. 实时动态显示各部件工作状态,并显示相对应数值,包括阀门开启与关闭,流量计,射频电源是否开启等实时信息
2. 工艺界面:可选择自动运行或手动运行,编辑工艺程序,系统配置,运行设定,监控查看运行图表及相关系统设定
3. 全手动操作:整个工艺过程,包括真空泵启动,工艺气体时间,功率,辉光放电等均由人工干预控制.
4. 系统可自由设定(包括在设备运行过程中)等离子RF功率,处理时间,真空度,气体流量,气体稳定时间,气体通入时间,吹扫,破真空等工艺参数
5. 操作人员可设置系统登录账户和密码,密码可由经过设置权限的操作人员设定和更改,并登录和退出系统账号(共有3个级别)
6. 工艺参数由被设定权限的操作人员设定,每个工艺参数最多可以有5个工艺步骤组成,可根据工艺要求设定每个工艺参数并设定每个步骤的相隔时间
7. 可设定工艺程序底压与是否开启吹扫功能和抽底压时限
8. 报警:可设定工艺压力偏移报警(时间,范围),射频功率报警(时间和范围),真空腔泄漏自检功能
9. 可忽略系统工艺运行时间的逻辑设定,单独控制阀门,流量计及射频电源的开启与关闭,以在特殊情况下或应用中设定系统状态
16. 外形尺寸：706W x 920D x 1415H mm（宽×深×高）
